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玻璃的性能表現和成本優勢
時間:2016-06-10 19:03 作者:華星電器 點擊:
制造矽通孔載板在成本和電性表現上有很大的挑戰,因此使得玻璃成為具吸引力和可行的解決方案。

制造矽通孔載板在成本和電性表現上有很大的挑戰,因此使得玻璃成為具吸引力和可行的解決方案。
矽通孔載板面臨的挑戰之一,即為在組裝和使用時因熱形變造成的載板卷曲情況,主因為CTE不相符的情況,這會成為材料在性評估上的一大考量。相較于矽,玻璃的一大優勢即為CTE的可調性,此可晶圓疊層時所造成的卷曲情況。玻璃還有多項特性,像是低電耗損率、低介電常數和電阻率,使其成為理想的載板。
玻璃除在CTE和電性方面具優勢外,封裝解決方案也擁有成本效益??祵幍牟A廴诔尚图夹g,在品質、尺寸經濟規?;葍烖c都可達到降低成本的目標。此成型制程不僅能出極純凈表面、低總厚度誤差(TTV)和的平坦度,還能出多種尺寸的玻璃,其厚度僅為100μm。因此提供厚度可選擇性的大尺寸晶圓或面板形式的TGV基板,即無需再進行拋光和削薄的程序,也就可再降低制造成本。

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